KIST, 협력 대학들과 ‘학‧연 융합 컨퍼런스’ 개최
협력 대학들과 4차 산업혁명 대비를 위한 융합연구 기획의 장 마련

 

한국과학기술연구원(KIST, 원장 이병권)은 융합연구 활성화 및 창의‧융합형 과학기술인재 육성을 위해 9월 21일(목) 서울 본원에서 학연교수제를 공동으로 운영하고 있는 대학들*과 제2회 ‘2017 학‧연 융합 컨퍼런스’를 개최했다.
 * 참여대학 : 고려대, 경희대, 한양대, 국민대, 건국대

이번 컨퍼런스는 한국연구재단 김주선 나노소재분야 단장의 대학과의 융합연구 협력방안 등에 대한 기조강연과 KIST의 미세먼지사업단(단장 배귀남), 치매DTC융합연구단(단장 배애님), 실감교류인체감응솔루션사업단(단장 유범재) 등 대형 사업단 소개, 3개 융합연구분야(BT-IT, NT-IT, ET-IT융합)별 발표 세션으로 구성되어, 총 18명의 학연교수 강연과 55여 편의 학생 포스터 발표가 진행되었다. 컨퍼런스를 주관한 KIST 대외협력본부 임혜원 본부장은 “KIST는 2012년 고려대를 시작으로 5개 대학과 학연교수제를 공동 운영함으로써 사회문제 해결형 융복합 연구의 성공적 수행과 현장형 이공계 인재 육성을 위해 노력해왔다. 이번 컨퍼런스를 통해 4차 산업혁명을 대비한 실질적인 융합연구 활성화와 이를 통한 창의‧융합형 미래인재 육성을 강화하는 계기를 마련했다”고 밝혔다. 학연교수제란 ‘산업교육진흥 및 산학연협력촉진에 관한 법률’에 따라 국책연구소와 대학 간 인력의 공동 활용으로 공동연구 및 교육을 활성화하기 위한 제도로, 학연교수로 선발되는 우수 교원 및 연구원은 양 기관에 동시에 소속되어 전임급으로 근무하면서 융복합연구와 인력양성을 공동으로 추진하게 된다.

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III-V족 화합물 반도체를 실리콘(Si) 기판위에 적층하는 저비용 공정으로

소자 발열 해결 및 최고 수준의 전하이동도 특성 확인

초저전력 고성능 III-V족 화합물 반도체* 소자 상용화 기대

*III-V족 화합물 반도체 : 주기율표 III족 원소와 V족 원소가 화합물을 이루고 있는 반도체 물질.


  가전제품이나 휴대폰 등 기기의 소형화가 진행됨에 따라, 반도체의 크기도 지속적으로 감소해 왔다. 현재 주로 사용되고 있는 실리콘 반도체의 경우, 작은 면적에 더 많은 소자를 넣기 위해 물리적 한계로 여겨지는 10nm 크기 수준으로 작아졌고, 구조도 2차원 평면형에서 3차원 입체형으로 전환되고 있다. 하지만 소자 집적도가 높아짐에 따라 소자간 간섭현상과 발열 문제가 해결해야 할 과제로 남아있다.  

  한국과학기술연구원(KIST, 원장 이병권) 차세대반도체연구소 김상현, 김형준 박사팀은 국민대학교 김동명 교수연구팀과의 공동연구로 기존의 실리콘 위에 III-V족 화합물 반도체를 3차원으로 적층하는 기술을 개발하여 기존 반도체보다 훨씬 빠르고, 전력 소비가 현저히 적어 발열문제를 해결한 고성능 반도체 소자를 개발했다. KIST 김상현 박사팀은 기존 소자의 발열문제를 해결하기 위해서 전력소비를 낮추는 것에 집중했다. 전자의 이동속도가 빠를수록 전력소비가 낮아지고 전력소비가 낮아질수록 발열량이 낮아지는데, 차세대 반도체로 각광받고 있는 III-V족 화합물 반도체는 기존의 실리콘 반도체보다 높은 전자 이동도를 보이며, 소비전력도 적어 고성능 핵심소재로 인식되고 있다. 하지만 제조공정이 비싼 단점이 있어 군사, 통신 등 특수분야에 한정적으로 이용되고 있는 실정이었다. 미국, 일본 등 선진연구수준과는 달리 우리나라의 경우 실리콘 반도체에 집중하여 상대적으로 III-V족 화합물 반도체에 대한 연구가 취약한 실정이었다.
연구진이 개발한 기술은 실리콘 기판 위 전자가 이동하는 반도체 채널 부분에 III-V족 화합물 반도체인 인듐갈륨비소(InGaAs)를 얇고 균일하게 형성하여 효과적이고 저비용의 III-V족 화합물 반도체 소자를 제작할 수 있는 공정으로, 산업계에서 응용가능성이 매우 높을 것으로 기대되고 있다.

[그림1] 실리콘 상 III-V족 화합물 반도체 층 제조 공정 모식도


우선 비용적인 측면에서는 웨이퍼 본딩(Wafer Bonding)*이라는 공정을 통해서 필요한 부분에만 인듐갈륨비소(InGaAs)를 실리콘 위에 접착하여 사용하고 비교적 간단한 공정인 ELO(Epitaxial Lift Off)*공정을 통해 떼어낸 III-V족 화합물 모재 기판(InP)을 재사용함으로서 획기적으로 원가를 절감할 수 있게 되었다. 시간적 측면에서도 기존의 ELO(Epitaxial Lift Off)공정 시 발생하는 수소 거품과 소수성 표면 문제를 웨이퍼 접착(Bonding)시 소자의 패터닝과 모재 기판(InP)의 친수성 표면을 이용하여 해결함으로써 공정시간을 기존대비 수십 배 이상 단축시키는데 성공하였다.
*웨이퍼 본딩(Wafer Bonding) : 접착제등을 사용하지 않고 서로 다른 기판을 접합하는 기술
*ELO(Epitaxial Lift Off) : 가운데 희생층을 두고, 목적하는 재료를 성장 후에 재료를 박리하는 방법

[그림2] 실리콘 상 III-V족 화합물 반도체 (InGaAs)의 단면 전자현미경사진 및 이로 제작된 소자의 이동도 결과

 

이 기술은 재료 및 공정 원가가 상용화의 걸림돌이었던 III-V족 화합물 반도체의 제조 공정을 쉬운 공정방법으로 변경함으로써 원가 절감 및 공정 고속화를 가능하게 하였을 뿐만 아니라 세계 최고 수준의 전자 이동도 특성까지 보여주어 초저전력으로 발열문제를 해결한 고성능 화합물 반도체 소자 상용화를 앞당겼다고 볼 수 있다. 김상현 박사는 “본 연구를 통하여 단순히 실리콘상에서 III-V족 화합물 반도체를 형성하는 데에 그치는 것이 아니라 3차원으로 여러 층을 적층하여 집적도가 향상된 다기능 소자를 실현하는 것이 기대된다.”고 밝혔다.


본 연구는 한국과학기술연구원 플래그쉽 연구사업, 산업통상자원부 미래반도체소자 원천기술개발사업, 미래창조과학부 중견연구자 지원사업으로 수행되었으며, 연구결과는 국제학회인 ‘IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)*’에서 12월 7일에 발표되었다.
* IEDM 학회는 세계 3대 반도체 학회로 전자소자 분야 최고 권위 학회로 인정받고 있다. 특히 반도체 분야의 올림픽이라는 별칭을 가지고 있으며 각국의 산업계, 연구소, 대학 등에서 관련된 최신 기술을 발표하고 있다.

 

 * (논문명) Cost-effective Fabrication of In0.53Ga0.47As-on-Insulator on Si for Monolithic 3D via Novel Epitaxial Lift-Off (ELO) and Donor Wafer Re-use (IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), (Paper Acceptance 118-2742 (2016. 12. 7 10:45 (샌프란시스코 시간) 발표)
          - (제1저자) 한국과학기술연구원 김성광 학생연구원       
          - (교신저자) 한국과학기술연구원 김상현 박사, 국민대학교 김동명 교수

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한경진 교수, 정형외과학회 학술상 수상

'생분해성 금속 나사못' 임상적 유용성 연구 성과 인정

 

몸속에서 녹는 생분해성 금속 재료들에 대해 들어보셨나요? KIST 생체재료연구단의 석현광, 한형섭교수가 연구하였고 최근 임강실험을 통해 국민대 이지욱 교수가 조직학적인 분석을 완성했습니다. 이와 관련항 한경진 아주대병원 교수도 이 분야에 대한 연구로 대한정형외과학회 학술상 기초부문 대상을 받으셨습니다.  해당 내용이 궁금하시다면 아래 링크를 참고하세요

 

[의학신문 기사보기]

 

[생분해성 금속재료 관련 글 보기]

 

 

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 - 협력대학과의 강점분야 도출, 융합연구 확대 및 창의인재 양성 도모

 

  한국과학기술연구원(KIST, 원장 이병권)은 9월 27일(화) 서울 본원에서 강점 연구분야 도출을 통한 융합연구 확대 및 창의‧융합형 미래인재 양성 강화를 위해 학연교수제를 공동으로 운영하고 있는 협력 대학들*과 ‘학‧연 융합 컨퍼런스’를 개최했다.
 * 참여대학 : 고려대, 경희대, 한양대, 국민대, 건국대

 

  이번 컨퍼런스는 국가과학기술연구회 윤석진 융합연구본부장의 기조강연을 시작으로, 3개 세션(BT-IT, NT-IT, ET-IT융합)으로 구분되어 총 21명의 학연교수 강연과 60여 편의 학생 포스터 발표 순으로 진행되었다. 컨퍼런스를 주관한 KIST 미래인재본부 주오심 본부장은 “KIST는 2012년 고려대를 시작으로 5개 대학과 학연교수제를 공동 운영함으로써 사회문제 해결형 융복합 연구 및 이공계 명품인재 육성을 위해 노력해왔다. 이번 컨퍼런스를 통해 연구소와 대학 간 그리고 대학과 대학 간의 시너지를 낼 수 있는 연구협력분야를 도출하여 실질적인 융합연구 활성화와 이를 통한 창의‧융합형 미래인재 육성을 강화하는 계기를 마련했다”고 밝혔다. 학연교수제란 ‘산업교육진흥 및 산학연협력촉진에 관한 법률’에 따라 국책연구소와 대학 간 인력의 공동활용으로 공동연구 및 교육을 활성화 하기 위한 제도로, 학연교수로 선발되는 우수 교원 및 연구원은 양 기관에 이중 소속되어 전임급으로 근무하면서 융복합 연구와 인력양성을 공동으로 추진하게 된다.

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